• 磁控溅射镀膜机

    • 品牌: WAYES-VAC
    • 单价: ￥268,000.00 / 台
    • 货物数量: 1台
    • 最小订量: 1台
    • 产品规格: MS-246
    • 运输说明: 物流
    • 包装说明: 木箱
    • 交货说明: 安装调试培训
  • MS-246小型多靶磁控溅射镀膜机

    真空腔室：1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构；
    真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）；
    **限真空：优于8✕10-5Pa（设备空载抽真空24h）；
    真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min；
    升降基片台：尺寸直径100mm，高度60～120mm可调，旋转0～20r/min可调，可加热至300℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能；
    磁控靶：直径2英寸2只（可升级成3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材；
    溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选；
    质量流量计：10sccm、50sccm质量流量控制器各1套；
    膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪；
    控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空；
    整机尺寸：L60cm✕W60cm✕H96cm机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口。










  • 企业信息
  • 状态：普通会员
  • 核实：        
  • IP属地：北京
  • 联系方式
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